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製品案内

真空用コネクタ | 気密容器へ導入・チャンバー内中継

真空・圧力・液体・ガス環境による製造や実験には気密容器が必要になります。
気密を損なわずにヒーター電源を導入したり、内部の熱電対信号などを取り出すには気密コネクタが必要です。容器内にて脱着を行いたい時には真空用中継コネクタを使用します。

気密コネクタには多極のハーメチックコネクタやねじ端子を貫通させた電流導入端子があります。導通部や絶縁部周辺は銀ろう付けやガラスなどで封止され、容器やフランジとは溶接によって封止されます。容器との着脱を容易する必要がある場合、Oリング、ガスケットなどを使用したフランジタイプをご使用ください。

多極のハーメチックコネクタの場合、真空側の接続には専用の真空側プラグ(容器側プラグ)を推奨します。 容器内でハーメチックコネクタ周辺ではなくケーブル中間部で着脱を行いたい場合には真空内中継コネクタをご検討ください。

ハーメチックコネクタと真空内中継コネクタ

真空用コネクタの全体図

ねじによりケーブルと接続する電流導入端子

電流導入端子の全体図

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