RFフィルター ｜ 半導体製造装置の高周波ノイズ対策 
WCM社(West Coast Magnetics・米国)のRFフィルターは、半導体製造装置で使用されるプラズマ発生時に起こる高周波ノイズ(13.56MHz等)をカットします。コイルとコンデンサを使用したLCフィルターと比べて非常にコンパクトです。単体で多チャンネルをフィルタリング可能です。
DC電源、ヒーター電源、静電チャック(ESC）、熱電対等の信号ラインなどに混入した高周波のノイズを効果的に除去し、装置の安全を守ります。米国の大手半導体製造装置メーカーにて採用されている製品です。
WCM社のRFフィルターに標準品は無く、お客様の仕様に合わせた特注設計での提案となります。カットしたいノイズの周波数、通過させたい周波数、電流、電圧、チャンネル数、装置への固定方法等をご連絡ください。
LC(コイル・コンデンサ）並列フィルターとは違いコイルにはワイヤーではなく銅箔を使用しています。 銅箔を巻くことで生まれる寄生効果によりキャパシタ成分を発生させているためコンデンサ自体は使用していません。
コンデンサを使用しないため非常にコンパクトな設計が可能です。使用しているコイルはワイヤーではなく断面積の大きい銅箔のため、小型でも大電流を効率的に通電可能です。
銅箔のコイルを並列的に巻いて製作することにより、一つのRFフィルターで複数チャンネルをフィルタリングすることが可能です。そのような使用方法ではさらに省スペースを実現可能です。
銅箔のコイルを直列に並べて製作することにより、同一チャンネル内での複数の帯域をフィルタリングすることが可能です。
カットしたい周波数帯で高いインピーダンスを発生させ、それ以外の帯域ではインピーダンスを低く抑えた特性です。狭帯域で効率的なフィルター性能を実現しています。
コイルに使用する銅箔はワイヤーに比べて断面積が大きく大電流の通電に向いています。表皮効果を起こすような周波数帯での通電 ではさらに有利な構造です。
最大200℃の温度にも耐える材質を選定可能です。フェライトコアを使用していないため温度変化によるインピーダンスの変化を最小限に抑えた特性です。
