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ハーメチックコネクタ | 真空容器への多極導入

ハーメチックコネクタはハーメチックシール、フィードスルーなどとも呼ばれ、主に多芯の電線をコネクタで簡単に着脱できる気密コネクタを指します。ヒーター電源や熱電対信号などの導入に使用されます。同軸コネクタタイプもございます。

  • ICF114フランジのハーメチックコネクタ
  • ICF70のハーメチックコネクタと接続方法

ピン配列はMIL-C-5015のMSコネクタ嵌合配列を基本に、オリジナルの配列や大電流端子の製品も特注対応にて製作いたします。
大気側の接続は主にMSコネクタが用いられ、真空側の接続方法は絶縁物付きの真空側プラグ、ロック用カップリングナットのついたシェル付き真空側プラグ、ソケットコンタクト単体での接続、ハーメチックコネクタのピンをカップ形状としたはんだ接続等の方法から選択可能です。

ピンパターンと仕様(MIL-C-5015準拠)

ピンパターン ピンパターン14S-7 ピンパターン14S-2 ピンパターン14S-6 ピンパターン18-1 ピンパターン20-27
極数 3 4 6 10 14
配列記号 14S-7 14S-2 14S-6 18-1 20-27
耐電圧(試験電圧) DC500V(標準型)もしくはAC1500V(高耐電圧型)
電流値 1ピン 3A
1台計 9A 12A 18A 30A 42A
ピン径 φ1.6(#16)
MSコネクタ適合プラグ形式 MS3106B14S-7S MS3106B14S-2S MS3106B14S-6 MS3106B18-1S MS3106B20-27S
ピンパターン ピンパターン22-14 ピンパターン24-28 ピンパターン28-21 ピンパターン36-10
極数 19 24 37 48
配列記号 22-14 24-28 28-21 36-10
耐電圧(試験電圧) DC500V(標準型)もしくはAC1500V(高耐電圧型)
電流値 1ピン 3A
1台計 49.4A 62.4A 96.2A 124.8A
ピン径 φ1.6(#16)
MSコネクタ適合プラグ形式 MS3106B22-14S MS3106B24-28S MS3106B28-21S MS3106B26-10S
ピンパターン ピンパターン20-4 ピンパターン20-15 ピンパターン22-23 ピンパターン22-2 ピンパターン24-22
極数 4 7 8 3 4
配列記号 20-4 20-15 22-23 22-2 24-22
耐電圧(試験電圧) AC1500V
電流値 1ピン 23A 46A
1台計 76.2A 105.7A 110.4A 122.3A 152.5A
ピン径 φ2.4(#12) φ3.6(#8)
MSコネクタ適合プラグ形式 MS3106B20-4S MS3106B20-15S MS3106B22-23S MS3106B22-2S MS3106B24-22S

お客様装置の容器に直接ハーメチックコネクタを溶接して取り付けたい場合には フランジのないハーメチックコネクタを使用します。

真空チャンバーに溶接されたポートや容器の隔壁にねじ止めやクランプにてハーメチックコネクタを 取り付けたい場合には、フランジ付きのハーメチックコネクタを使用します。メンテナンス時に簡単に取り外すことができます。真空用フランジにはVG/VF、ICF、NW(KF)などの規格品がありますが、加圧用の規格フランジやオリジナル形状のフランジも承ります。

容器側の接続に多極のプラグを使用する場合で抜け止めや誤挿入防止が必要な時、ハーメチックコネクタは容器側にもおねじのついたダブルレセプタクルタイプを使用します。接続する容器側プラグは大気用のMSコネクタか、ステンレス等で特注製作した 真空側プラグを使用します。

容器内にはんだを持ち込むことが可能で、ハーメチックコネクタのピンに ケーブルをはんだ付けしたい場合には容器側がはんだカップ形状になったハーメチックコネクタを使用します。 大気側は通常のMSコネクタでの接続となります。

熱電対信号にて使用する場合、通電部のピンが熱電対材質でできた熱電対用ハーメチックコネクタ、大気側プラグ、真空側プラグをご用意しております。Kタイプ、Tタイプ、Eタイプの製作が可能です。

製作可能な熱電対タイプと特徴

JIS記号 +極 -極 測定温度範囲 特徴
K クロメル アルメル -200℃~1000℃ 最も使用されている
T コンスタンタン -200℃~300℃ 低温での精密測定向き
E クロメル コンスタンタン -200℃~700℃ 熱起電力特性が高い

熱電対ハーメチックコネクタのピン配列

熱電対 極性(記号 ◇:+極 ◆:-極 ●:他)
ピンパターン ピンパターン1S-7 ピンパターン14S-2 ピンパターン14S-6 ピンパターン18-1 ピンパターン20-27
極数 3 4 6 10 14
配列記号 14S-7 14S-2 14S-6 18-1 20-27
熱電対 極性(記号 ◇:+極 ◆:-極 ●:他)
ピンパターン ピンパターン22-14 ピンパターン24-28 ピンパターン28-21 ピンパターン36-10
極数 19 24 37 48
配列記号 22-14 24-28 28-21 36-10

中心導体と外部導体をもつ同軸タイプのハーメチックコネクタも用意しております。BNC型、N型、SMA型の端子をラインアップし、ご希望のフランジに溶接した状態での提案も可能です。

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