株式会社グローブ・テック

お問い合わせ

お問い合わせ

株式会社グローブ・テック

製品案内

磁性流体シール | 真空回転シール

特長

  • ●幅広い標準品ラインナップ
    →標準品以外にも仕様に合わせて特注品対応可能
  • ●リークセンサー
    →オプションのリークセンサーにより真空チャンバーへの汚染を事前に防ぎます
  • ●高品質
    →ISO9001に基づいた生産体制と出荷前検査により高品質の製品を供給しています
  • ●豊富な販売実績
    →米国半導体製造装置メーカーに量産採用されています

注意
磁性流体シールは、「シャフトの往復運動へのシール」「加圧」「液体の封止」には使用できません。

磁性流体シール 標準品

シャフト径φ4~6の磁性流体シール標準品

-製品仕様-
品名:磁性流体シール標準品
シリーズ:ASSCNR10
圧力:10-6 Pa
使用可能温度:0℃~+80℃
シャフト径:φ4 / φ5 / φ6mm

シャフト径φ4~6の磁性流体シール標準品

-製品仕様-
品名:磁性流体シール標準品
シリーズ:ABSCNR10
圧力:10-6 Pa
使用可能温度:0℃~+80℃
シャフト径:φ6 / φ10 / φ12mm

シャフト径φ4~6の磁性流体シール標準品

-製品仕様-
品名:磁性流体シール標準品
シリーズ:AFSCNR10
圧力:10-6 Pa
使用可能温度:0℃~+80℃
シャフト径:φ6 / φ10 / φ12 / φ20mm 

シャフト径φ4~6の磁性流体シール標準品

-製品仕様-
品名:磁性流体シール標準品
シリーズ:AFMCNR10
圧力:10-6 Pa
使用可能温度:0℃~+80℃
シャフト径:
φ10 / φ20 / φ25 / φ30 / φ40/ φ50/ φ75mm

下記の標準品カタログでは、より多くの標準品と寸法や仕様を掲載しています。

標準品カタログダウンロードはこちら

磁性流体シール 特注品

お客様の仕様に合わせたカスタムメイドの製品対応も可能です。
中空タイプや多軸タイプなど、お客様のご使用環境に合わせた最適な製品提案をさせて頂きます。
試作~量産まで幅広く対応いたします。

中空φ100の磁性流体シール特注品 中空φ100の磁性流体シール特注品

-製品仕様-
品名:XXH0100WXR00001
圧力:10-6 Pa
使用可能温度:0℃~+80℃
内径:φ100mm
特長:DDモータ・エンコーダー組み込み

中空φ100の磁性流体シール特注品 中空φ100の磁性流体シール特注品

-製品仕様-
品名:XXS0020WMR00001
圧力:10-6 Pa
使用可能温度:0℃~+80℃
内径:φ70mm
特長:フランジ付き

中空φ100の磁性流体シール特注品 中空φ100の磁性流体シール特注品

-製品仕様-
品名:BCM1000CNR00001
圧力:10-6 Pa
使用可能温度:0℃~+80℃
内径:φ30mm
特長: 3200 RPM高速回転対応

中空φ100の磁性流体シール特注品 中空φ100の磁性流体シール特注品

-製品仕様-
品名:AXC0134C/W-X00539
圧力:10-6 Pa
使用可能温度:0℃~+80℃
取付面の直径:134φmm
特長:2軸磁性流体シール

下記の標準品カタログでは、より多くの標準品と寸法や仕様を掲載しています。

標準品カタログダウンロードはこちら

アプリケーション事例紹介

  • ●液晶パネル製造装置
    →パネル搬送用ローターの回転導入
  • ●真空搬送ロボット
    →ウェハー搬送用の多軸ロボット
  • ●高温熱処理炉
    →ウェハーへ均一の熱をかけるための回転導入
  • ●PVD装置
    →スパッタ装置において均一に成膜するための回転テーブルの回転導入

ANTS社

磁性流体シール 特注品につきましては下記の「お問い合わせフォーム」よりお問い合わせください。
担当営業おり折り返しご連絡させて頂き詳細を伺わせていただきます。

カタログダウンロードはこちら

お問い合わせはこちらから

  • 042-584-1020
  • 042-584-1030

お問い合わせフォームはこちら