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製品案内

RFフィルター | 半導体製造装置の高周波ノイズ対策 WCM WEST COAST MAGNETICSメーカーロゴ

DC電源、ヒーター電源、静電チャック(ESC)、熱電対等の信号ラインなどに混入した高周波のノイズを効果的に除去し、装置の安全を守ります。米国の大手半導体製造装置メーカーにて採用されている製品です。

特長

  • ●仕様に合わせたカスタム設計
  • 銅箔をコイルに利用した独自構造
  • コンパクト設計
  • ●複数チャンネルを一体化
  • ●同一チャンネルで複数の帯域を連続フィルタリング
  • 1MHz~50MHzの帯域内でフィルタしたい帯域を指定可能
  • ●大電流通電時でも少ない発熱
  • 最大200℃耐熱、温度変化によるインピーダンス変化が少ない

仕様に合わせたカスタム製品

WCM社のRFフィルターに標準品は無く、お客様の仕様に合わせた特注設計での提案となります。カットしたいノイズの周波数、通過させたい周波数、電流、電圧、チャンネル数、装置への固定方法等をご連絡ください。

銅箔をコイルに利用した独自構造

LC(コイル・コンデンサ)並列フィルターとは違いコイルにはワイヤーではなく銅箔を使用しています。 銅箔を巻くことで生まれる寄生効果によりキャパシタ成分を発生させているためコンデンサ自体は使用していません。

RFフィルターの銅箔を使用したコイル

コンパクト設計

コンデンサを使用しないため非常にコンパクトな設計が可能です。使用しているコイルはワイヤーではなく断面積の大きい銅箔のため、小型でも大電流を効率的に通電可能です。

複数チャンネルを一体化

銅箔のコイルを並列的に巻いて製作することにより、一つのRFフィルターで複数チャンネルをフィルタリングすることが可能です。そのような使用方法ではさらに省スペースを実現可能です。

同一チャンネルで複数の帯域を連続フィルタリング

銅箔のコイルを直列に並べて製作することにより、同一チャンネル内での複数の帯域をフィルタリングすることが可能です。

直列接続により複数の周波数をフィルタリング

1MHz~50MHzの帯域内でフィルタしたい帯域を指定可能

カットしたい周波数帯で高いインピーダンスを発生させ、それ以外の帯域ではインピーダンスを低く抑えた特性です。狭帯域で効率的なフィルター性能を実現しています。

カットしたい周波数で局所的にインピーダンスを上げる特性

大電流通電時でも少ない発熱

コイルに使用する銅箔はワイヤーに比べて断面積が大きく大電流の通電に向いています。表皮効果を起こすような周波数帯での通電 ではさらに有利な構造です。

最大200℃耐熱、温度変化によるインピーダンス変化が少ない

最大200℃の温度にも耐える材質を選定可能です。フェライトコアを使用していないため温度変化によるインピーダンスの変化を最小限に抑えた特性です。

環境温度の変化による影響を受けにくいインピーダンス特性

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